目前电子特种气体行业监督管理采取国家宏观调控和行业自律相结合的方式。国家发改委、工信部对行业进行宏观管理，企业在生产、销售等经营环节需遵守相关法律和法规，并接受各个部门的监管。行业自律组织为中国半导体行业协会。

  部门职能国家发改委国家发展和改革委员会对行业进行宏观管理，主要负责研究制定产业政策和产业高质量发展规划；指导行业技术法规和行业标准拟定，促进行业体制改革；实施技术进步和产业现代化的宏观指导，促进行业技术发展等工信部工信部主要负责拟订实施行业规划、产业政策和标准；监测工业行业日常运行；推动重大技术装备发展和自主创新；指导推进信息化建设；协调维护国家信息安全等应急管理部应急管理部主要负责安全生产综合监督管理和工矿商贸行业安全生产监督管理等国家市场监督管理总局国家市场监督管理总局主要负责起草市场监督管理有关法律和法规草案，制定有关规章、政策、标准，拟订并组织实施有关规划；拟订并实施质量发展的制度措施；管理产品质量安全风险监控、国家监督抽查工作。建立并组织实施质量分级制度、质量安全追溯制度。指导工业产品生产许可管理生态环境部生态环境部主要负责会同有关部门拟订国家生态环境政策、规划并组织实施，起草法律和法规草案，制定部门规章；制定大气、水、海洋、土壤、噪声、光、恶臭、固态废料、化学品、机动车等的污染防治管理制度并监督实施中国半导体行业协会贯彻落实政府有关的政策、法规，向政府业务主管部门提出本行业发展的经济、技术和装备政策的咨询意见和建议；做好信息咨询工作，调查、研究、预测本行业产业与市场，汇集企业要求，反映行业发展呼声；组织行业内新品交流会、研讨会；制（修）订行业标准、国家标准及推荐标准等

  电子特种气体作为关键性电子材料，大范围的应用于集成电路、显示面板、光伏、光纤通信等领域，近年来得到国家产业政策的全力支持。国家发改委、科技部、工信部、财政部、国家税务总局等部门相继出台一系列产业支持政策，有力推动了电子特种气体产业的发展。

  发布时间发布部门政策名称重点内容2021.12工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021年版）》在“113.特种气体”中列示33种特种气体，对纯度等指标提出明确要求2020.08国务院《新时期促进集成电路产业和软件产业高水平发展的若干政策》聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、工业软件、应用软件的关键核心研发技术，不断探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术攻关新型制。科技部、国家发展改革委、工信部等部门做好有关工作的组织实施，积极利用国家重点研发计划、国家科技重大专项等给予支持2018.11国家统计局《战略性新兴起的产业分类2018）》在“1.2.3高储能和关键电子材料制造”的重点产品和服务中包括了“超高纯度气体外延用原料”，在“3.3.6专用化学品及材料制造”的重点产品和服务中包括了“电子大宗气体、电子特种气体”2017.01工信部、国家发改委、科技部、财政部《新材料产业高质量发展指南》在重点任务中提出“加快高纯特种电子气体研发及产业化，解决极大规模集成电路材料制约”2017.01国家发改委《战略性新兴起的产业重点产品和服务指导目录》（2016）在“1.3.5关键电子材料”中包括“超高纯度气体等外延用原料”2016.12国务院《“十三五”国家战略性新兴起的产业发展规划》提出优化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供应链，到2020年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到70%以上2016.02科技部、财政部、国家税务总局《国家重点支持的高新技术领域目录》（2016）在“四、新材料”之“（五）精细和专用化学品”之“2、电子化学品制备及应用技术”中精确指出包括“特种（电子）气体的制备及应用技术”

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